LCH-W晶圆搬运机器人
专为半导体晶圆传输设计，高精度、高洁净度运行。
LCH-W晶圆搬运机器人是专为半导体制造和洁净室环境设计的高端传输设备。该产品采用先进的直驱电机与精密控制算法，具备高重复定位精度和极高的稳定性。机器人的关节结构经过严密密封设计，有效防止微尘产生，满足Class 10级洁净度要求。它适用于4至12英寸晶圆的快速、安全搬运。其出色的动态响应和防震设计，能大幅度降低晶圆在传送过程中的破损率，是半导体前道与后道工序中不可或缺的智能装备。
龙创恒
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