DSV-S半导体级干式泵
满足超净室标准，低振动低噪音，工艺气体抽除稳定。
DSV-S半导体级干式真空泵是针对半导体、面板显示及LED制造工艺定制的高端真空设备。产品严格按照超净室标准制造，整机振动极小、噪音低，满足严苛的洁净度要求。其内部采用特殊的自清洁螺杆转子设计，能够有效防止工艺过程中固体颗粒物的积聚与卡死，确保长效稳定运行。泵体集成先进的温度控制和氮气吹扫系统，能够安全处理各种腐蚀性和易燃易爆的工艺气体，是半导体晶圆制造及薄膜沉积工艺的理想配套设备。
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